プラズマ工業排ガス処理技術はすでに標準化排ガス処理設備を開発し、発生した高エネルギー電子、ラジカルなどの活性粒子を利用して工業排ガス中の各成分を活性化、イオン化、分解し、分解、酸化などのいくつかの列の複雑な化学反応を発生させ、さらに多段浄化を経て、それによって各種汚染源から排出された異臭、臭気汚染物を除去し、有毒有害ガスを低毒化、無毒化に到達させ、人類の生存環境を保護する。汚染物質分子の効率的な分解と処理エネルギー消費量の低さなどの特徴により、工業排ガスの処理に新たな構想を切り開いた。プラズマ反応区には高エネルギー電子、イオン、ラジカル、励起状態分子などの極めて高い物質が豊富に含まれており、排気ガス中の汚染物質はこれらの比較的高いエネルギーを持つ物質と反応し、汚染物質を極めて短い時間で分解し、その後の各反応を発生させて汚染物質を説明する目的を達成することができる。従来のコロナ放電情勢による低温プラズマ技術と比較して、プラズマ技術の放電密度はコロナ放電の1500倍であり、これが従来の低温プラズマ技術が産業排ガスの99%を処理することに失敗した原因である。

光酸素プラズマ触媒装置は二重誘電体バリア放電形式を用いてプラズマを発生し、発生したプラズマの密度は他の技術で発生したプラズマ密度の1500倍であり、初めてフロン類、ハロン類物質の分解処理に用いられ、後に工業悪臭、異臭、有毒有害ガス処理に延びた。この技術は省エネ、環境保護で、応用範囲が広く、すべての化学工業生産段階で発生した悪臭異臭はほとんど処理でき、ダイオキシンに良好な分解効果がある。

光酸素プラズマ触媒装置は固体、液体、気体に続く物質の第4状態であり、印加電圧が気体の放電電圧に達すると気体が破壊され、電子、各種イオン、原子、ラジカルを含む混合体が生成される。放電中は電子温度が高いが、重粒子温度が低く、系全体が低温状態を呈するため、低温プラズマと呼ばれる。低温プラズマによる汚染物質の分解は、これらの高エネルギー電子、ラジカルなどの活性粒子と排気ガス中の汚染物質の作用を利用して、汚染物質分子を極短時間で分解させ、その後の各種反応を発生させて汚染物質を分解する目的を達成する。